國際市場對太陽能電池需求猛增，使其成為近三年來我國半導體設備銷售的主要組成部分。自2003年以來，我國太陽能電池設備的銷售額每年都以翻一番的速度增長，年均增長率達到97%。預計今年我國太陽能電池設備銷售額將超過5億元。

光伏產業帶動太陽能電池設備快速增長

太陽能作為一種用之不竭又到處可取的無污染的清潔能源，{TodayHot}成為人類首選的可再生能源。有專家分析，如果把地球表面0.1%的太陽能轉變為電能，轉變率為5%，那每年的發電量則相當于目前世界能耗的40倍左右。自20世紀80年代以來，光伏產業成為世界上增長最快的高新技術產業之一。

近年來，歐盟、美國、日本、澳大利亞等都先后出臺了利用太陽能發電的扶助政策，有力地推動了光伏產業的發展。據統計，最近十年，全球太陽能電池總產量平均增長率達到25.1%，最近五年的平均增長率為39%，而最近三年更是高達49.8%以上。

受到太陽能電池產業快速增長的拉動，處在太陽能電池產業鏈前端{HotTag}的制造設備包括材料提純設備、電池和組件制造設備及相關的檢測儀器等，都取得了長足發展。2005年全球太陽能電池相關設備及檢測儀器產量超過6000臺套，銷售額達到10億美元以上。

國際市場對太陽能電池的需求猛增，極大地刺激了國內太陽能電池產業的發展，并極大地促進了生產太陽能電池片的半導體設備的迅猛增長。自2003年開始，截止到2005年底，我國在三年時間內新上標準太陽能電池生產線（25MW/條）17條，產能接近450MW（兆瓦），是2002年的100倍左右。按當時每條線設備5000萬元的平均投資計算，設備市場高達8.5億元，如果再加上購買材料制備設備如多晶硅鑄錠爐、單晶爐、切割機、線鋸的投資，國內設備市場總額超過了12億元。

2006年1～6月我國10家太陽能電池設備主要生產廠銷售額已達到2.64億元，相當于2005年全年銷售額的80%。其中，太陽能硅材料生長和加工設備上半年銷售額1.43億元，太陽能電池片制造設備銷售額1.21億元。預計2006年我國太陽能電池設備銷售額將超過5億元，光伏產業的發展給我國電子專用設備行業帶來了新的市場和發展機遇。

我國已基本具備太陽能電池設備整線供給能力

由于國產半導體設備很難進入大的集成電路生產線，因此企業為了生存，只能尋找有市場前景的產品。太陽能電池設備價格比較低，國外廠商不好介入，而且其技術難度要比IC設備小得多，加之國內市場的驅動，因此目前太陽能電池設備有廣闊的市場前景。北京七星華創、中電科技集團第48所等國內知名半導體設備生產單位都已在這個領域取得不俗業績。

在太陽能電池及組件生產設備方面，國內4條骨干太陽能電池生產線設備大都依賴進口，原用于半導體器件生產線的部分國產設備在太陽能電池生產廠家雖然也有零星應用，但性能、可靠性和實用性都無法保證。2002年開始，通過和一流企業合作并引進先進的工藝技術，歷經多次技術換代及升級，國產的太陽能電池及組件生產線關鍵生產設備如硅片清洗機、8英寸擴散爐、等離子刻蝕機、PSG祛除機、低溫烘干爐、高溫燒結爐、絲網制刷機等相繼在國內大生產線上替代了進口設備，并取得廣泛應用。特別是2003年七星華創以及2004年中國電子科技集團公司第48研究所研制成功的電池片制造用最關鍵設備之一?熱壁式生產型PECVD設備，使我國設備業已基本具備太陽能電池制造設備整線供給能力。

國產太陽能電池設備總體的技術狀況是：基本具備整線裝備能力，但自動化水平較低；部分設備尚需實現突破，如全自動絲網印刷機和自動分檢機；擴散爐、等離子刻蝕機、清洗制絨設備、烘干爐等設備達到或接近國際先進水平，性價比優勢十分明顯，占據國內大部分市場。管式PECVD接近國際先進水平，正逐步進入大生產線，擴大市場份額，尚沒有平板型PECVD設備；高溫燒結爐與國際先進水平有一定差距，但差距不大，開始在大生產線逐步使用；全自動絲網印刷機尚在開發中，半自動絲網印刷機（人工上下料）已進入大生產線。

提高電池的最終產品質量、光電轉換效率及整線生產效率并降低生產成本，始終是太陽能電池制造設備技術的發展趨勢。因此，未來的太陽能電池設備的技術發展將圍繞以下幾個方面：

一是提高單機自動化水平，增加批次裝片量，提高單機生產效率；二是設備間機械手自動轉送、在線檢測，提高整線生產效率，減少人工干預，降低碎片率；三是將更先進的工藝技術物化于設備，進一步提高能電池的光電轉換效率，降低每瓦成本；四是進一步發展適合大尺寸、薄硅片的工藝技術設備，節約硅材料，降低成本。