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  • 板硝子與奧林巴斯聯(lián)手 玻璃表面可形成μm級凹凸技術(shù)問世

  • 評論:0  瀏覽:2323  發(fā)布時間:2006/9/29
  •     奧林巴斯和日本板硝子日前在全世界首次開發(fā)出了不使用半導(dǎo)體加工和模具加工,可直接在玻璃表面形成100nm至μm級微細(xì)凹凸(結(jié)構(gòu)體)的技術(shù)。據(jù)悉,由此可低成本實(shí)現(xiàn)多品種小批量產(chǎn)品。今后將通過向納米壓印、塑料成型模具、鏡片與蓋玻片(CoverGlass)等化學(xué)部件、微型反應(yīng)器(Microreactor)以及生物芯片等領(lǐng)域供應(yīng)樣品,探索其應(yīng)用領(lǐng)域,力爭兩年后投產(chǎn)。


        此次的新技術(shù)大體由如下3道工序組成。首先,利用尖頭壓子在玻璃表面的局部位置施加很大的壓力,形成壓縮層。然后,將其浸入普通的氫氟酸類水溶液中。最后,利用局部被壓縮的部位蝕刻速度的不同,在玻璃底板表面的任意位置形成凹凸。由此形成的凹凸尺寸和形狀,據(jù)悉可通過調(diào)整施加壓力的壓子尺寸和蝕刻量,在nm至μm級之間自由控制。


        過去,要想在玻璃表面進(jìn)行nm至μm級的凹凸加工,通常使用半導(dǎo)體制造中采用的光刻技術(shù)。但由于光掩膜價格昂貴,而且半導(dǎo)體制造工藝復(fù)雜,因此難以實(shí)現(xiàn)多品種產(chǎn)品的低成本生產(chǎn)。

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